半导体

晶圆制造的超纯水（UPW）温控、刻蚀与 CVD 设备的工艺冷却、厂务冷冻水回路，对温度稳定性的要求到了 ±0.1℃ 级。超纯水电阻率 18.2 MΩ·cm，任何金属离子析出都算污染。设备间空间紧张，还要求洁净设计。

超纯水与工艺冷却用 thermolineVario 可拆垫片式板式换热器，洁净结构、可拆开检查。密封和洁净要求更高的回路用 thermolinePure 半焊接板式换热器。空间极紧、要求高换热密度的场合用 GreenPrinted 印刷电路板换热器。

接触超纯水的表面做钝化处理并控制金属离子析出。垫片选低析出等级，避免污染水回路。